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<第77回応用物理学会秋季学術講演会>
応用物理学会附設展示会で実機展示
開催期間 | 2016年9月13日(火)~16日(金) | |
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会場 | 朱鷺メッセ 展示ホール(新潟県新潟市) [アクセス] | |
入場料 | 無料 ※応用物理学会講演会の参加者以外の方もご参加いただけます。 |
講演会にて多数登壇予定
日時 | 場所 | 内容 | 登壇 |
9/13 10:30 |
13a-A23-3 | 小型スパッタリング装置を用いたPZT圧電膜の作製と評価 | 1.株式会社アルバック 2.アルバック九州株式会社 |
9/13 10:45 |
13a-A23-4 | 圧電MEMS向けドライエッチングプロセスの開発 | 1.アルバック半電研 |
9/14 10:45 |
14a-B10-7 | 7ALD被覆ソフトマテリアルの作製とその応用 ~Al2O3被覆セグメント化ポリウレタンシートの作製と その抗血栓性~ |
1.アルバック超材研 2.東京電機大理工 3.東北大 加齢研 |
9/14 15:15 |
14p-B6-6 | 真空型帯電液滴および クラスタービームによる二次イオン収率 |
1.山梨大総合 2.アルバック・ファイ 3.山梨大 クリーン |
9/15 10:30 |
15a-A26-6 | 反応性スパッタリング法による 窒化カーボン膜の作製と特性評価 |
1.アルバック半電研 |
9/15 11:30 |
15a-B10-11 | 応力制御ができる高密度TiN薄膜の成膜技術 | 1.株式会社 アルバック |
9/15 11:30 |
15a-A22-6 | 低温スパッタによる低抵抗ITO膜の開発 | 1.株式会社アルバック |
9/15 15:15 |
15p-A22-8 | 高移動度In系酸化物半導体材料の開発 | 1.株式会社アルバック |
9/16 12:00 |
16a-A24-12 | イオン注入を用いた裏面電極ヘテロ接合太陽電池製造工程の簡略化―― a-Si/c-Si パシベーション電極の伝導型 制御 | 1.北陸先端大 2.株式会社アルバック |
ULVACの研究開発実験装置
これまで培ったアルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる研究開発実験装置を取り揃えています。お客様の用途に合わせて“ちょうどいい”実験装置を提案させていただけます。
ロードロック式スパッタリング装置 「CS200」 |
研究開発実験装置「QAM」【アルバック九州株式会社】 |
全自動 無冷媒希釈冷凍機のご紹介 アルバック・クライオ株式会社
大阪市立大学 畑名誉教授との共同開発
液体ヘリウム不要。予冷作業や液体ヘリウム残量管理が一切不要です。 |